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物联网(IoT)是把任何物品与互联网连接起来，进行信息交换和通讯，以实现智能化识别、定位、跟踪、监控和管理的一种网络。简而言之，物联网就是“物物相连的互联网”。传感器作为物联网三大层次结构之一的感知层的重要组成部分，将现实世界中的物理量、化学量、生物量等转化成可供处理的数字信号，是实现物联网的基础和前提，同时MEMS(微机电)技术作为支撑技术，在物联网的发展中起着至关重要的作用。

MEMS 的传感器发展共经历了三个阶段，分别对应不同的驱动力。2000 年左右是汽车电子、2007 年左右是智能手机、2013 年左右是可穿戴设备，下一个驱动MEMS 的传感器发展的动力是物联网，业界预测全球传感器需求有望从当前的百亿级激增到2025年的Trillion-Sensor(TSensor，万亿-传感器)量级。